“老板，这种波形管道是输送氩气的管道，那种比较宽大的偏平状管道是空气通道，而那种比较厚实的🃋🖎圆形钢管就是空调制冷管。
🁌🄖♏ 还有那种纵横交错的吊轨，就是将来输送半成品硅晶圆的自动输送装置。
&nb🙾🏿☑sp 硅晶圆从开始清洗、🄄🞐📖烘干、涂胶、🚌👾🎚光刻，蚀刻，再到清洗、烘干、掺杂，再到清洗、烘干等步骤，总共要重复三百多次。
所以必须有一套高💵🖊🐸效的自动输送系统，这种输送系统会因为厂房布置，机械效率高低的关系而不同，所以我们必须自己量身定做一套这样的自🍒🚉动🍧输送系统。
&n🉇bsp而且在整个输送过程，是由一个有黄色透明塑🜅⛚料外壳保护又充满氩气的盒子输送。
&nbs♲🌑♽p &nbs🛸♤p而且各道工序，都是先抽成真空，再注入氩气保护，硅晶圆才会从那个保护盒子内拿出来，进行各道工序的制备，整个过程非常严格，又极为复杂。
这个自动输送系统的效率如何，直接决定了😄⚠我们一年能产出多少片硅晶圆的产量。
华晶微电子原先🏓规划是一年产1🚤200万片，我们希望🜛能达到或超过这个目标。”
&nb⛣🜍sp 宋庆伟陪着王勇与他新上任🂅🌖的秘书马华腾俩人在芯片工厂内的施工现场察看工程进度。
&n🜲🆉🍱bsp &nb🍩📵sp他指着厂房屋顶上密密麻麻布满的各📮🞏📆种管道和吊轨给王勇俩人介绍。
为了抢时间，🗈各种管道的铺设，是和厂房装修同步进行，偌大的厂房内，仅管有五千多平米的巨大面积，但被各种装饰材料、管道线🖶🗋🚂材占得满满当当🌃☆。
&nb📑sp 地上有好多🌝⛬地🗈方还挖了个大坑，被粗粗的钢筋笼子和混泥土浇注成了一座座台基。
&nbs♲🌑♽p 王勇指着那🌝⛬些水泥台基问他：“宋🚌👾🎚总，这些就是减震台吗？你们怎么能确定它就该在这里呢？”
&🕉🇲🜝nbsp &nb🍩📵sp🏣“是的”宋庆伟先是肯定的答复，接着又给他解惑：“老板，我们这种厂房与华晶微电子的厂房，同样是五千平米，一样的构造，所以我们实际上是将华晶微电子的布置，原封不动的照搬过来。”
🐐⚦📫 说到这里，宋🗈庆伟一脸为难之色，他叹了一口气道：“老🂡🐗板，说到防震台，我就不得不告诉你，整个芯片制造车间的安装调试，最难的就是自动输送系统和这些防震台。
其中这个防震基座的调试最难，它的要求太苛刻了，而且没有极限，它不仅要化解机器设备本身的振动，还要化解地壳产生的自🍶🌦然振动。
这种振动极其细🏓微，我们人类感觉不📮🞏📆到，但是对芯片的制程工艺却有严重的影响，这也是造成芯片废品率居高不下的原因。
我们的任务是尽最大可能降低这些震动的影响，把它降低🂡🐗再降低。
这个很费🖚时间，还要有各种高科技仪器设备😄⚠😄⚠辅助。